Ngành điện tử và bán dẫn là lĩnh vực đòi hỏi cực kỳ nghiêm ngặt về độ tinh khiết, độ khô và không chứa dầu trong khí nén – bởi khí nén chính là môi chất được sử dụng trong các công đoạn then chốt như điều khiển thiết bị tự động, làm sạch bề mặt wafer, đóng gói linh kiện, hoặc vận chuyển sản phẩm trong môi trường sạch. Bất kỳ ô nhiễm nào trong khí nén cũng có thể gây hỏng hóc vi mạch, giảm tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng, hoặc tăng nguy cơ dừng dây chuyền.

Yêu cầu khí nén trong ngành điện tử – bán dẫn theo tiêu chuẩn ISO 8573-1:2010

Để bảo vệ quy trình và sản phẩm, khí nén sử dụng trong nhà máy điện tử – bán dẫn phải đạt các yêu cầu chất lượng nghiêm ngặt theo tiêu chuẩn quốc tế ISO 8573-1:2010, bao gồm:

• Hạt rắn (Solid Particles): Đòi hỏi lớp độ tinh khiết Class 1 hoặc Class 2, tức lượng hạt siêu mịn trong khí nén phải ≤ 0.01 – 1 µm, nhằm đảm bảo môi trường siêu sạch (cleanroom).

• Hàm lượng dầu (Oil Content): Phải ở mức ≤ 0.01 mg/m³ (Class 1), nhằm tránh hư hỏng linh kiện vi mạch do tồn dư dầu từ máy nén hoặc hệ thống ống dẫn.

• Độ ẩm (Water Content): Yêu cầu điểm sương áp suất ≤ -40°C hoặc -70°C (Class 2 đến Class 1), giúp loại bỏ nguy cơ ngưng tụ hơi nước, ăn mòn thiết bị và nhiễm ẩm sản phẩm.